近日，浙江省科學(xué)技術(shù)廳公布了2023年第二批全省重點實驗室認(rèn)定結(jié)果，由晶盛機電和上虞半導(dǎo)體材料研究中心共建的“全省高性能硅材料裝備重點實驗室”榮獲本次認(rèn)定。

■ 全省重點實驗室認(rèn)定結(jié)果

        該實驗室由晶盛機電副總裁朱亮博士擔(dān)任主任，面向國家集成電路產(chǎn)業(yè)高質(zhì)量發(fā)展的重大戰(zhàn)略需求，從集成電路用大尺寸硅片的低缺陷高品質(zhì)生長工藝與高端裝備技術(shù)等研究目標(biāo)著手，致力于通過硅材料設(shè)備關(guān)鍵技術(shù)研究解決大尺寸硅片缺陷多、平坦度低等行業(yè)難題，建設(shè)國內(nèi)首條12英寸集成電路大硅片設(shè)備實驗線，重點圍繞晶體生長、磨削、拋光等關(guān)鍵技術(shù)開展研究與突破，建立自主可控的硅材料裝備國家技術(shù)體系，建設(shè)成為半導(dǎo)體材料裝備領(lǐng)域世界一流、具有重要國際影響力的科研高地。

■ 實驗室研發(fā)現(xiàn)場

        此次晶盛獲評浙江省重點實驗室，不僅充分肯定了科研團隊的辛勤工作和創(chuàng)新成果，也是對公司繼續(xù)加大研發(fā)投入、激發(fā)創(chuàng)新活力的重要激勵。公司將秉持“打造半導(dǎo)體材料裝備領(lǐng)先企業(yè)，發(fā)展綠色智能高科技制造產(chǎn)業(yè)”的使命，堅持以技術(shù)創(chuàng)新為核心驅(qū)動力，當(dāng)好科技創(chuàng)新“排頭兵”，致力于成為全球技術(shù)和規(guī)模雙領(lǐng)先的半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)。

■ 晶盛機電國家及省級研發(fā)平臺