學(xué)術(shù)天地
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劉明副理事長
發(fā)布時(shí)間:
2020-07-14
作者:
中國真空網(wǎng)
來源:
中國真空學(xué)會(huì)第九屆理事會(huì)副理事長
1964年4月,劉明出生于江西豐城市,籍貫安徽宿州。
1985年,劉明從合肥工業(yè)大學(xué)本科畢業(yè),獲得學(xué)士學(xué)位。
1988年,劉明從合肥工業(yè)大學(xué)碩士研究生畢業(yè),獲得碩士學(xué)位。
1998年,劉明從北京航空航天大學(xué)博士研究生畢業(yè),獲得博士學(xué)位。
2000年,劉明被聘為中國科學(xué)院微電子研究所研究員和納米加工與新器件集成技術(shù)研究室主任。
2008年,劉明獲得國家杰出青年科學(xué)基金資助。
2015年7月31日,劉明入選中國科學(xué)院院士增選初步候選人名單,12月7日當(dāng)選中國科學(xué)院院士。
2018年1月25日,劉明出任中國科學(xué)技術(shù)大學(xué)國家示范性微電子學(xué)院院長,同年當(dāng)選發(fā)展中國家科學(xué)院院士。
科研綜述
劉明長期從事半導(dǎo)體存儲(chǔ)器和集成電路的微納加工等方面的研究,闡明了阻變存儲(chǔ)器機(jī)理,建立了相應(yīng)的物理模型;提出了功能層摻雜和局域電場(chǎng)增強(qiáng)的阻變存儲(chǔ)器性能調(diào)控方法,提高存儲(chǔ)器整體性能;拓展了新型閃存材料和結(jié)構(gòu)體系,提出新的可靠性表征技術(shù)、失效模型和物理機(jī)理;發(fā)展了集成電路的微納加工技術(shù)并拓展到禁運(yùn)的短波衍射元件研制中 。
劉明在國際上首次采用軟X射線曝光技術(shù)實(shí)現(xiàn)了256位分子存儲(chǔ)器;在32nm技術(shù)節(jié)點(diǎn)以下的非揮發(fā)性存儲(chǔ)器替代方案上,提出了利用金屬摻雜的技術(shù)手段來提高阻變存儲(chǔ)器(RRAM)性能和成品率的方法,成為國際上最早提出此概念的兩個(gè)小組之一,在漸進(jìn)型的非揮發(fā)性存儲(chǔ)器替代方案上,著眼于納米晶浮柵存儲(chǔ)結(jié)構(gòu)(Nano-Floating Gate)。
學(xué)術(shù)論著
截至2017年7月,劉明發(fā)表SCI收錄論文250多篇,SCI他引超過2800次,6篇論文入選ESI高被引論文榜,兩項(xiàng)工作列入2013年ITRS(國際半導(dǎo)體發(fā)展路線圖)、多項(xiàng)工作作為典型進(jìn)展被寫入15本著作和40篇綜述中。授權(quán)發(fā)明專利180件(含美國授權(quán)專利7件),主要專利轉(zhuǎn)讓/許可到多家重要集成電路企業(yè)。
學(xué)術(shù)交流
截至2017年7月,劉明在本領(lǐng)域重要國際會(huì)議做邀請(qǐng)報(bào)告30多次 。
承擔(dān)項(xiàng)目
截至2015年12月,劉明先后主持參與了多項(xiàng)國家973、863項(xiàng)目 。
科研成果獎(jiǎng)勵(lì)
截至2017年7月,劉明先后獲得國家技術(shù)發(fā)明二等獎(jiǎng)3項(xiàng)、國家科技進(jìn)步二等獎(jiǎng)1項(xiàng)、中國電子學(xué)會(huì)科學(xué)技術(shù)獎(jiǎng)自然科學(xué)類一等獎(jiǎng)、北京市科學(xué)技術(shù)一等獎(jiǎng)2項(xiàng)、北京市科學(xué)技術(shù)二等獎(jiǎng)2項(xiàng)和中國科學(xué)院杰出成就獎(jiǎng)等獎(jiǎng)項(xiàng) 。
教育思想
劉明提出:導(dǎo)師應(yīng)首先做到讓學(xué)生尊重信賴的人,并建議年輕導(dǎo)師保持樂觀的生活和工作態(tài)度,學(xué)高為師,身正為范 。
教學(xué)成果獎(jiǎng)勵(lì)
榮譽(yù)表彰
社會(huì)任職
人物評(píng)價(jià)
劉明長期致力于微電子科學(xué)技術(shù)領(lǐng)域的研究,在存儲(chǔ)器模型機(jī)理、材料結(jié)構(gòu)、核心共性技術(shù)和集成電路的微納加工等方面做出了系統(tǒng)、創(chuàng)造性貢獻(xiàn)。她建立了阻變存儲(chǔ)器(RRAM)物理模型,提出并實(shí)現(xiàn)高性能RRAM和集成的基礎(chǔ)理論和關(guān)鍵技術(shù)方法,產(chǎn)生重要國際影響 。(中國科學(xué)技術(shù)大學(xué)國家示范性微電子學(xué)院評(píng))
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